IC裝備產(chǎn)業(yè)是高端裝備制造業(yè)的核心產(chǎn)業(yè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)品的最上游，可以起到控制他國集成電路發(fā)展速度的作用，重要意義不言而喻，目前國際高端IC裝備基本控制在美國、日本、荷蘭的制造廠商。IC裝備制造是我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈中最薄弱的環(huán)節(jié)，我國IC產(chǎn)業(yè)要想掌握發(fā)展主導(dǎo)權(quán)，IC裝備是必須要解決的問題。習(xí)總書記指出，科技創(chuàng)新成為國際戰(zhàn)略博弈的主要戰(zhàn)場，關(guān)鍵核心技術(shù)要不來、買不來、討不來。核心技術(shù)是我們最大的命門，核心技術(shù)受制于人是沈陽儀表最大的隱患。知其不可而為之，對于科技創(chuàng)新我們也勇于“亮劍”。2018年沈陽儀表院承擔(dān)的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項(xiàng)“高精密激光劃片工藝技術(shù)及裝備研究”項(xiàng)目順利驗(yàn)收，取得了多項(xiàng)核心技術(shù)成果，開啟了沈陽儀表院激光劃片裝備的成果轉(zhuǎn)化之路。結(jié)合市場和客戶需求，連續(xù)三年實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)發(fā)展——2019年制成單視覺半自動激光劃片機(jī)，2020年制成雙視覺全自動激光劃片機(jī)，2021年制成GPP芯片用全自動激光劃片機(jī)。多項(xiàng)技術(shù)成果如機(jī)械視覺自動對準(zhǔn)、機(jī)械手輔助上下料系統(tǒng)、激光光路控制和誤差補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)了工程化，新技術(shù)、新成果的應(yīng)用奠定了我院激光劃片機(jī)在市場上的優(yōu)勢，ZLH706系列激光劃片機(jī)實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，取得良好的市場反饋，得到了客戶的認(rèn)可。截止至7月底，公司新簽激光劃片機(jī)設(shè)備臺數(shù)超50臺。

目前，IC裝備公司正持續(xù)開展技術(shù)升級，在視覺識別算法、設(shè)備授權(quán)管理、核心部件選型等方面取得進(jìn)展，不斷夯實(shí)激光劃片機(jī)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢，持續(xù)推進(jìn)先進(jìn)技術(shù)成果的轉(zhuǎn)化和應(yīng)用，為IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)一步儲能蓄力。