在“智能產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品展—先進(jìn)裝備制造展”線(xiàn)上虛擬展館,上海微電子通過(guò)視頻、圖片、文字等形式展出了半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)機(jī)器人等產(chǎn)品。半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)機(jī)器人可自動(dòng)搬運(yùn)兩個(gè)12寸FOUP(兼容8寸片盒),實(shí)現(xiàn)端到端全自動(dòng)搬運(yùn),可兼容多種半導(dǎo)體工廠(chǎng)物料,在工廠(chǎng)不同區(qū)域進(jìn)行運(yùn)輸,大幅提升物料搬運(yùn)效率,降低人力搬運(yùn)成本。